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    SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

    SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    产品描述


    4轴大气5片晶圆搬运机器人
    SA25_SA系列半导体机器人
     
    • ● 采用闭环伺服控制
    • ● 可选配免电池绝对式编码器
    • ● 可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
    • ● 末端执⾏器类型:下托式

    臂长

    250mm

    额定/最大负载

    5晶圆

    搬运物

    Φ100~Φ300mm晶圆

    美高梅(MGM)能源众为兴SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

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    美高梅(MGM)能源众为兴SA25_4轴大气5片晶圆搬运机器人

    规格参数

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