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FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
产品描述
单轴大气晶圆片盒搬运机器人
FA4230_FA系列半导体机器人
- ●采用闭环伺服控制
- ●可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
- ●可选配免电池绝对式编码器
- ●可选mapping传感器类型:对射式、反射式
- ●可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长
420mm
额定/最大负载
4kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆

关键词:
FA4美高梅(MGM)能源众为兴230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
规格参数
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